Il sistema ETNA riassume oltre 30 anni di esperienza ed è la piattaforma ideale per effettuare test di R&D, Q&R e produzione per le principali famiglie di dispositivi, tra cui SiC e GaN, Moduli di Potenza, SoC, MEMS e Memorie.
L’ETNA MOSBTS-M180, in particolare, è la nostra soluzione per il Burn-in sui dispositivi SiC e GaN e sui Moduli di Potenza.
Principali caratteristiche
Stesse piattaforme di test e software per il Wafer e Package Level Burn-in
- Notevole capacità di registrazione dati e correlazione
- Tracciamento dell’intera storia del dispositivo
Combinazione di stress HTRB e HTGB nello stesso flusso di test
- Accelerazione del processo di riduzione dei tempi di Burn-in con un impatto significativo sui costi di produzione complessivi
Capacità di misurazione delle perdite
- Drift monitoring per prevedere i guasti dei dispositivi
- Ottimizzazione della curva di apprendimento tecnologico
Architettura di test fortemente in parallelo
- Fino a 4320 dispositivi sottoposti a stress e testati in parallelo nella configurazione 12+12
Piattaforma termica all’avanguardia
- Conforme all’Industria 4.0
- Soluzione green
- Predisposizione per l’automazione
- Configurazione caldo-freddo per attività di caratterizzazione dell’affidabilità dei dispositivi
Strumento software per l’analisi dei dati
- Monitoraggio in tempo reale che consente una strategia di Burn-in adattiva
- Analisi di post-elaborazione per feedback a R&D, qualità e affidabilità del prodotto, produzione
Principali caratteristiche della piattaforma di test
- Numero di zone elettriche per camera: fino a 6
- Numero di dispositivi testabili (DUT) per ogni slot: fino a 180
- Lista dei test a parallelismo completo: HTRB/IDSS, HTGB/IGSS, IDSX, BVDSS
- Misurazione multiplex in-situ: Vth, RDSon, Vsd
- Drain PSU Range: [-60 V; 2500 V] CC, +/-500 V CA
- Gate PSU Range: [-60 V; 60 V]
- Monitoraggio: corrente DUT (A) in tempo reale di tutti i 180 DUT in parallelo
- Intervallo di misura della corrente: [600 nA – 100 uA – 50 mA]
- Precisione di misura della corrente: [6 nA – 1 uA – 250 uA]
- Intervallo di corrente forzata (test parametrico multiplex): fino a 200 mA
- Risoluzione temporale del log dei guasti: 1 ms
Modello ad alta tensione
- Intervallo di tensione in uscita: da 0 V a + 2500 V
- Accuratezza impostazione tensione in uscita: 0,05% del valore effettivo + 0,05% del valore nominale
- Intervallo di corrente in uscita: da 0 A a 1,25 A
- Potenza massima in uscita: 3250 W
- Ripple e rumore (p-p, larghezza di banda 20 MHz, senza carico): < 250 mV
Modello a bassa tensione
- Intervallo di tensione in uscita: da 0 V a + 60 V
- Accuratezza impostazione tensione in uscita: ±0,15% della tensione di uscita nominale
- Intervallo di corrente in uscita: da 0 A a 17 A
- Potenza massima in uscita: 1020 W
- Ripple e rumore (p-p, larghezza di banda 20 MHz, senza carico): < 60 mV
Principali caratteristiche della piattaforma termica
- Numero di camere per sistema: 2
- Slot BIB: 24 (12 per ciascuna camera)
- Intervallo di temperatura massimo: da 40 °C a 180 °C (opzione temperatura estesa per una camera da – 55 °C a 200 °C)
- Inserimento/estrazione BIB: automatico, a livello di slot
- Apertura porte camera: automatica. Porte scorrevoli con guarnizione gonfiabile
- Risoluzione impostazione temperatura: 0,1 °C
- Accuratezza impostazione temperatura: ±1 °C
- Uniformità della temperatura: ±3 °C (valida nell’intervallo [80; 150] °C, con massima dissipazione di calore e 12 BIB caricate. Punti di misurazione a 100 mm di distanza dalla parete della camera e a 10 mm dai dispositivi sotto test)
- Dissipazione massima per camera nell’intervallo [80; 150] °C: 5 kW / 7,5 kW
- Condensa: acqua
- Opzione gestione azoto: disponibile
Principali caratteristiche della piattaforma software
La piattaforma software del sistema offre una serie completa di strumenti per lo sviluppo dei test (pacchetto SW Development), l’esecuzione in produzione e la creazione di report (pacchetto SW Execution).
Grazie alla sua ricca interfaccia grafica, il software dell’ETNA MOSBTS-M180 offre gli strumenti di ingegneria necessari per caratterizzare i dispositivi, nonché per sviluppare e correggere i programmi di test in modo rapido ed efficiente.
Pattern Editor
- Nuovo IDE per visualizzazione e modifica pattern basato su vettori della piattaforma EDA
- Facile generazione di programmi di test
Test Plan Editor
- Funzionalità per snellire le attività di ingegneria
- Interfaccia operatore intuitiva
Data Viewer
- Potenti funzionalità di reporting e analisi dei dati, che includono uno specifico formato di dati di Burn-in e un output STDF
- Accesso in tempo reale alle fasi del flusso di test, ai parametri e alle misurazioni
- Report dettagliato sui dati analizzati
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